半导体巨头、全球光刻机领头企业ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen),对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示,ASML可以从荷兰向中国出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。
但他随后也补充称,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。
但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口,并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。彭博社14日在报道中也强调,DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可,一直到现在都没有批准。
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